數(shù)字式四探針測試儀

產(chǎn)品簡介

數(shù)字式四探針測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-02-14

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：930

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

電工儀表

靜電測試儀其它電工儀表交直流電源阻抗測試儀電力行業(yè)發(fā)生器測高儀變壓器測試儀電容電感測試儀諧波分析儀電力質(zhì)量分析儀繼電保護(hù)測試儀絕緣子測試儀伏安表頻率表周波表指示儀相序表電流表電流測定儀電纜故障測試電壓電阻測試儀

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數(shù)字式四探針測試儀 方阻測試儀 方阻檢測儀

型號: DL10-KDY-1

KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的專li產(chǎn)品：“小游移四探針頭"，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器或KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。

主機(jī)技術(shù)能數(shù)

（1）測量范圍：

可測電阻率：0.0001～19000Ω·cm

可測方塊電阻：0.001～190000Ω·□

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA

0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA

恒流精度：各檔均低于±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表：

測量范圍：0～199.99mV

靈敏度：10μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）

輸入阻抗：≥1000MΩ

（4）測量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%

整機(jī)測量精度：1－1000歐姆·厘米≤3%

（5）供電電源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%

無較強(qiáng)的電場干擾，電源隔離濾波，無強(qiáng)光直接照射

（7）重量、體積：

主機(jī)重量：7.5kg

體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）

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